(資料圖)
大族激光在互動(dòng)平臺(tái)表示，目前公司光刻機(jī)項(xiàng)目主要應(yīng)用在分立器件領(lǐng)域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻機(jī)已投入市場(chǎng)，步進(jìn)式光刻機(jī)已啟動(dòng)用戶優(yōu)化，公司將根據(jù)市場(chǎng)需求及業(yè)務(wù)發(fā)展情況持續(xù)制定研發(fā)計(jì)劃，并加大研發(fā)核心部件國(guó)產(chǎn)化。
關(guān)鍵詞： 大族激光 分立器件 步進(jìn)式光刻機(jī)
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