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英諾激光6月13日在投資者互動(dòng)平臺(tái)表示，公司曾向ASM LASER SEPARATION INTERNATIONAL B.V.提供過激光器。公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域持續(xù)投入研發(fā)，目前提供的產(chǎn)品以碳化硅退火制程的激光器為主，亦有少量應(yīng)用在硅基半導(dǎo)體檢測(cè)等關(guān)鍵制程的紫外和深紫外等激光器，客戶以國外知名半導(dǎo)體裝備公司為主。
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